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실리콘 질화물 세라믹 디스크

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질화규소는 또한 태양 전지에 적용될 수 있습니다. 질화규소 막을 PECVD에 의해 도금 한 후, 입사광의 반사를 줄이기위한 반사 방지막으로서뿐만 아니라, 질화규소 막의 증착 공정에서, 반응 생성물의 수소 원자가 실리콘 질화물 막 및 실리콘 웨이퍼를 포함한다. 패시베이션 결함으로 작용합니다. 여기서, 질화규소의 질소 원자 수 비는 엄격하게 4 : 3이 아니지만, 공정 조건에 따라 일정한 범위 내에서 변화하며, 상이한 원 자비에 대응하는 막의 물리적 특성이 상이하다.
초고온 가스 터빈, 항공기 엔진, 전기로 등
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